En mi caso yo uso esto...
Al declararlo
Dim ApExcel As excel.Application
Al configurarlo
Set ApExcel = New excel.Application
Al abrirlo
ApExcel.Workbooks.Open FileName:=Nombre_Archivo
ApExcel.Visible = True
Al terminar el proceso donde uso el objeto EXCEL
Set ApExcel = Nothing
Para terminar el proceso le dejo al usuario la tarea de cerrar el excel...
En caso de generarse algún error durante la generación del archivo en Excel, mi forma de cerrarlo es esta
ApExcel.Visible = False
ApExcel.Application.Visible = False
ApExcel.Application.Quit
Set ApExcel = Nothing
He notado que al momento de establecer la propiedad VISIBLE a true, es cuando el proceso EXCEL.EXE se agrega a la lista de procesos... al momento de que el usuario cierra manualmente la venta de EXCEL es cuando este proceso se quita, asimismo el proceso se quita de dicha lista cuando ejecuto el método QUIT.
Hasta ahora eso me ha funcionado.
Espero te sirva, saludos